Soluzione di controllo automatico per apparecchiature di rivestimento a semiconduttori
Soluzione di controllo automatico per apparecchiature di rivestimento a semiconduttori
Sfondo del caso:
Nell'industria dei semiconduttori, le macchine di rivestimento sono essenziali nel processo di fotolitografia, responsabili dell'applicazione di fotoresisti o altri materiali funzionali su wafer o substrati.Utilizzando metodi di rivestimento a spina o a spruzzo, queste macchine formano pellicole sottili uniformi e stabili per garantire la precisione del disegno.e sistemi di posizionamento ad alta precisioneEssi sono spesso dotati di braccia automatizzate di carico/scarico e di sistemi di controllo in tempo reale per migliorare l'efficienza della produzione e garantire una qualità del rivestimento costante.
Soluzione:
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Controller principale:OMRON PLC
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Processo applicabile:Rivestimento
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Configurazione I/O del progetto:MTC-CEE-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2
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Uso annuale:1 milione di serie
In questo progetto, il cliente integra un PLC OMRON con i prodotti MTC di Decowell per costruire un sistema di controllo pneumatico compatto ed efficiente per le attrezzature di rivestimento.Valvole solenoidi azionano i cilindri per controllare con precisione il movimento verticale e orizzontale dell'ugello di spruzzo, garantendo l'accuratezza dell'altezza e della posizione del rivestimento. altri cilindri azionano i bracci automatici di carico e scarico, che trasportano i substrati tra il rivestimento e il sistema trasportatore.
Il sistema incorpora moduli I/O all'interno dell'isola della valvola, che consentono un facile collegamento di sensori di posizione e interruttori magnetici.Con architettura modulare, il sistema offre un'eccellente scalabilità e flessibilità per soddisfare diverse configurazioni di apparecchiature.
Vantaggi di applicazione:
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L'alta integrazione riduce i cablaggi e risparmia spazio ai pannelli
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Moduli di I/O espandibili per futuri aggiornamenti del sistema
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Controllo preciso del movimento degli ugelli di spruzzo e dei bracci di movimentazione
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prestazioni stabili ed efficienti adatte alla produzione a grandi volumi