Miglioramento dell'efficienza di pulizia dei wafer con i moduli I/O remoti della serie Decowell RB

Sfondo industriale
Nella produzione di semiconduttori, i wafer di silicio devono passare attraverso una serie di processi di precisione come taglio, macinatura dei bordi, lapping, trattamento superficiale, lucidatura e crescita epitaxiale.Questi passaggi lasciano inevitabilmente le superfici dei wafer contaminate da particelleLa fase di pulizia dei wafer svolge un ruolo fondamentale nell'eliminazione di queste impurità per garantire la resa e l'affidabilità dei prodotti finali.Il processo richiede non solo precisione, ma anche stabilità e controllo intelligente per ridurre al minimo le perdite di produzione e i rischi di contaminazione.

Visualizzazione del progetto
Per rispondere alle esigenze rigorose della pulizia moderna dei wafer, il progetto integra unOmron PLC come controller primario, combinato con unConfigurazione I/Ocon DecowellModuli I/O remoti della serie RBL'impostazione comprende:

• 3× RB-1110 Accoppiatori di autobus

• Moduli 3×16DI

• Moduli 3×16DO

• Modulo di ingresso analogico (AI)

• Modulo di uscita analogico (AO)

Questa configurazione consente la raccolta e il controllo in tempo reale dei dati relativi ai parametri critici di pulizia, tra cui lo stato operativo delle apparecchiature, la pressione del fluido e le concentrazioni chimiche.

Serie Decowell RB: compatta, efficiente e affidabile
I moduli di I/O remoti della serie Decowell RB sono progettati per soddisfare le esigenze di elevate prestazioni del controllo automatizzato dei processi.fattore di forma ultra-sottile- eProgettazione compatibile con il sistema ferroviarioLa serie RB consente una rapida installazione, anche in armadi elettrici con spazio ristretto.monitoraggio in tempo reale e diagnostica a distanzaIl sistema di pulizia, che aiuta i tecnici a individuare anomalie come una pressione instabile o un dosaggio improprio senza la necessità di ispezioni in loco.

Questa visibilità in tempo reale dello stato del sistema garantisce una risposta rapida alle deviazioni, riduce al minimo i tempi di fermo e aiuta a mantenere prestazioni ottimali di pulizia su ogni lotto di wafer.l'architettura modulare della serie RB supportaespansione flessibile, consentendo ai produttori di adattare la scala I/O alle diverse linee di produzione e ai futuri aggiornamenti.

Impatto dell'applicazione
Con un volume annuo di utilizzazione superiore a100, 000 unità, la serie Decowell RB ha dimostrato di essere unrobusto, scalabile ed economicoI clienti segnalano una maggiore trasparenza dei processi, una migliore utilizzazione delle attrezzature e tempi di manutenzione ridotti.L'integrazione supporta anche una connettività di livello superiore, consentendo una comunicazione fluida con i sistemi SCADA o MES per costruire un'infrastruttura di fabbrica veramente intelligente.

Conclusioni
Nelle industrie basate sulla precisione come la produzione di semiconduttori, l'hardware di automazione deve fornire sia affidabilità che flessibilità.La soluzione Remote I/O della serie Decowell RB non solo soddisfa i requisiti tecnici dei complessi processi di pulizia dei wafer, ma migliora anche l'integrazione del sistema, la scalabilità e la manutenzione a lungo termine, che la rendono una scelta affidabile per la produzione intelligente di prossima generazione.