1. Contesto del Progetto

L'apparecchiatura di stripping a umido è uno strumento fondamentale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori e di precisione. La sua funzione principale è quella di rimuovere film sottili o strati rivestiti dai substrati attraverso soluzioni chimiche controllate e la gestione della temperatura. Questi sistemi sono ampiamente applicati in microelettronica, componenti ottici, display flessibili e altre industrie di alta precisione, dove la coerenza e la stabilità del processo sono essenziali.

Un tipico sistema di stripping a umido comprende un modulo di circolazione chimica, un sistema di controllo della temperatura di precisione, un sistema di erogazione della soluzione e una piattaforma di automazione programmabile. Poiché la qualità dello stripping è altamente sensibile ai parametri di processo, l'apparecchiatura deve mantenere un controllo rigoroso sui livelli dei liquidi, sulla temperatura, sulla portata e sulla stabilità chimica per garantire risultati di stripping uniformi, riducendo al contempo i danni al substrato.

Questo progetto si concentra sulla fornitura di una soluzione di automazione stabile, accurata e ad alta efficienza per una linea di produzione di stripping a umido per semiconduttori, migliorando la produttività e la qualità del prodotto.

2. Panoramica della Soluzione

• Controller Principale: Keyence PLC

• Processo Applicabile: Front-end litografia—processo a umido di pre-patterning

• Configurazione I/O: Circa 100 punti I/O digitali

• Volume di Implementazione Annuale: 80 unità

3. Implementazione Tecnica

L'apparecchiatura di stripping a umido adotta un PLC Keyence combinato con moduli I/O serie RS, formando un sistema di controllo dell'automazione completo e affidabile progettato per l'esecuzione precisa del processo.

1. Acquisizione di Input Multi-sensore

Il modulo I/O raccoglie i segnali di processo essenziali da vari sensori, tra cui:

• Sensori di livello del liquido

• Sensori di temperatura

• Sensori di flusso

• Sensori di stato della circolazione chimica

Questi segnali garantiscono un monitoraggio accurato dell'erogazione chimica, della coerenza della temperatura e della stabilità del processo durante l'intero ciclo di stripping.

2. Controllo Preciso degli Attuatori

Attraverso l'elaborazione logica ad alta velocità, il PLC controlla i moduli I/O ed esegue azioni coordinate come:

• Regolazioni del riscaldamento chimico

• Erogazione precisa della soluzione

• Commutazione di pulizia e circolazione

• Controllo delle valvole

• Protezione e interblocco di sicurezza

Questo assicura che l'intera sequenza di stripping funzioni in modo fluido, efficiente e sicuro.

3. Migliore Coerenza del Processo

L'automazione riduce al minimo gli errori umani e migliora la tracciabilità dei dati. La logica di controllo unificata garantisce prestazioni di stripping ripetibili, migliorando in definitiva la resa nell'intero processo dei semiconduttori.

4. Vantaggi della Soluzione

Design Compatto e Leggero

La struttura modulare consente un'integrazione senza soluzione di continuità in linee di lavorazione a umido su larga scala, riducendo lo spazio di installazione e migliorando la flessibilità.

Facilità di Installazione e Manutenzione

L'architettura I/O plug-and-play riduce la complessità del cablaggio, mentre il PLC supporta la risoluzione dei problemi e la diagnostica rapide—riducendo al minimo i tempi di inattività del sistema.

5. Risultato e Valore Fornito

Implementando l'architettura di automazione Keyence PLC + RS I/O, il sistema di stripping a umido ha ottenuto:

• Maggiore coerenza di stripping che soddisfa i requisiti di precisione a livello di semiconduttori

• Automazione migliorata e minore intervento dell'operatore

• Maggiore efficienza di produzione e resa

• Forte scalabilità per futuri aggiornamenti del processo

Questa soluzione è stata implementata con successo nelle linee di pre-elaborazione della litografia front-end e ha ricevuto un feedback molto positivo dai clienti.